Получен патент на изобретение "Газоструйный способ осаждения алмазных пленок с активацией в плазме СВЧ разряда"

14 марта 2023
17 января 2023 г. в Государственном реестре изобретений зарегистрировано изобретение "Газоструйный способ осаждения алмазных пленок с активацией в плазме СВЧ разряда"