Получен патент на изобретение "Способ формирования нанокластеров германия в плёнке GeO[SiO2] с использованием электронно-пучкового отжига"
6 апреля 2023
04 апреля 2023 г. в Государственном реестре изобретений зарегистрировано изобретение "Способ формирования нанокластеров германия в плёнке GeO[SiO2] с использованием электронно-пучкового отжига"
